描述:SFC4000 CMOSens®质量流量控制器是一款高精度质量流量控制器,具有快速响应时间和模拟输入输出接口。它采用数字化标定和温度补偿传感器信号,能够在较宽的量程范围内精确控制气体流量。
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详情:SFC4000 CMOSens®质量流量控制器是一款高精度质量流量控制器,具有快速响应时间和模拟输入输出接口。它采用数字化标定和温度补偿传感器信号,能够在较宽的量程范围内精确控制气体流量。